Bir devrenin karmaşık desenleri silikon levhaya kazındıktan sonra, koruyucu fotodirenç maskesinin-sert, çapraz-bağlı bir polimer tabakası-tamamen ve temiz bir şekilde soyulması gerekir. Bu, genellikle yüz santigrat derecenin üzerine ısıtılan, güçlü, agresif organik çözücülerden oluşan sıcak bir banyoda gerçekleştirilir. Bu uçucu, aşındırıcı kimyanın içindeki daldırmalı ısıtıcı, solventlerin çözemeyeceği, şişemeyeceği veya kirletemeyeceği bir malzemeden yapılmalıdır. PTFE kimyasal olarak sessiz, inert bir malzemedir.
Fotorezist Sıyırmada PTFE Isıtıcıların Rolü
Sıyırma banyosu tipik olarak N-Metil-2-pirolidon (NMP), dimetil sülfoksit (DMSO) ve güçlü alkalin aminler gibi 80-110 dereceye kadar ısıtılan solventlerin bir karışımından oluşur. PTFE daldırmalı ısıtıcı bu uygulama için standart seçimdir. Kimyasal olarak inert kılıfı, aksi takdirde standart plastiklere zarar verebilecek ve metalleri aşındırabilecek agresif solventlere karşı tamamen dayanıklıdır.
PTFE ısıtıcı, bozulmamış levha yüzeyinde birikebilecek metal iyonlarını veya diğer kirleticileri serbest bırakmadan temiz, sabit ve hassas ısı sağlar. Yapışmaz-pürüzsüz PTFE yüzeyi, çözünmüş fotorezist kalıntılarının birikmesine karşı direnç göstererek tekrarlanan döngülerde ısıtma yüzeyinin mükemmel şekilde temiz kalmasını sağlar. PTFE ısıtıcı fotodirençli levha sıyırma işlemi, eşit sıcaklık dağılımı sağlar ve hassas levhaları rahatsız edebilecek lokal kaynama veya çarpmayı en aza indirir.
"PTFE ısıtıcı, güçlü solventlerle dolu bir banyoda kimyasal olarak sessiz, sıcak bir parmaktır; kendinden tek bir iz bırakmadan maskeyi soyar, aynı zamanda levhayı bozulmamış ve elektriksel olarak kusursuz tutar."
Güvenlik Hususları
Çözücü karışımı yanıcıdır, zehirlidir ve genellikle kaynama noktasına yakın bir yerde çalıştırılır. Yangını, buhara maruz kalmayı veya elektrostatik tehlikeleri önlemek için, yalıtılmış muhafazalar, topraklama ve havalandırma dahil olmak üzere uygun tank tasarımı zorunludur. Kontrollü ısıtmayı sürdürmek ve solvent çarpmasını veya PTFE kılıfında lokal aşırı ısınmayı önlemek için muhafazakar watt yoğunlukları gereklidir.
Operasyonel Faydalar
Bu süreçte PTFE ısıtıcıların kullanılması şunları sağlar:
Agresif solvent karışımlarına karşı kimyasal bağışıklık.
Mutlak levha temizliğinin ve elektriksel bütünlüğünün korunması.
Korozyon veya bozulma olmadan{0}uzun vadeli güvenilirlik.
Yüksek-verimli yarı iletken üretimi için eşit,-hiçbir kalıntı bırakmayan ısıtma kritik öneme sahiptir.
Çözüm
PTFE daldırmalı ısıtıcı, yarı iletken üretiminde fotorezistin levhalardan temiz ve tamamen çıkarılmasını sağlayan kritik, kimyasal olarak bağışıklı bir ısı kaynağıdır. PTFE ısıtıcı, son derece agresif bir solvent banyosunda stabil, kirletici olmayan{1}}serbest ısı sağlayarak, modern mikroelektronik için gerekli olan atomik temizliği sağlar. Bir bilgisayar çipinin mükemmel, kusursuz yüzeyi, kimyasal saldırganlık ile atıl, güvenilir ısıtmanın birleşimiyle elde edilir.
